４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムは、慶應義塾大学、早稲田大学、
東京工業大学、東京大学が連携・協力して「新川崎・創造のもり」に設立した、新しい形の
研究教育拠点です。
クリーンルームには３５種類以上の精密加工・観察装置がそろっており、一般企業の研究・
試作にも御利用いただけます。
★2018年度 第１４回ナノファブスクエア講習・実習会
『デバイス接合 講習・実習会』開催のご案内
日時：２０１９年２月２１日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：河野 顕臣 先生（株式会社 古賀総研 シニアエクスパート）
実習機器：プラズマ装置（PR510）他
▶ 設備一覧のページ
実習内容：プラズマなどを使ったデバイス材料の接合原理について講習し
実際にプラズマ装置など使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
年間スケジュール：▶ 年間スケジュール
実習会参加申込方法：下記「参加申込書」をダウンロードして、必要事項をご記入の上、
下記オープンラボ事務局までメールに添付してお送りください。
▶ 参加申込書（ダウンロード）
申込み: オープンラボ事務局 nano-micro@open-labo.jp まで
問合せ先： KISTEC 真期 a-maki@newkast.or.jp
TEL 080-6560-3060
★2018年度 第１８回ナノファブスクエア講習・実習会
『陽極接合 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１９年２月７日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：安井 学（地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部）
実習内容：加速度センサなどの封止に使用されるシリコンとガラスの陽極接合の
実習を行います。
実習機器：陽極接合装置 アユミ工業製AB-40特注品
場所：（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）海老名本部
管理・情報棟 講義室2-4 （海老名市下今泉705-1）
注：場所がNANOBICではありません！ご注意ください。
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：１万円（税込み、装置利用料込み）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催 ：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１７回ナノファブスクエア講習・実習会
『シリコン異方性エッチング 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１９年１月３１日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：平林 康男 （地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部）
実習内容：シリコン熱酸化膜をマスクとしてシリコンの結晶異方性エッチングを行う
実習を行います。
実習機器：ドラフト、超純水製造装置
場所：（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）海老名本部
管理・情報棟 講義室2-4 （海老名市下今泉705-1）
注：場所がNANOBICではありません！ご注意ください。
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：１万円（税込み、装置利用料込み）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催 ：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１６回ナノファブスクエア講習・実習会
『シリコン酸化 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１９年１月１７日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：栗原 幸男（地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部）
実習機器：酸化拡散装置、ドラフト、スピンコーター、マスクアライナ
▶ 設備一覧のページ
実習内容：熱酸化の原理を説明し、高温で水蒸気雰囲気の電気炉で、
ＲＣＡ洗浄したシリコン表面を熱酸化して酸化膜を形成しフォトリソ
グラフィを行う実習を行います。
場所：（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）海老名本部
集合場所：管理・情報棟 講義室2-4
（海老名市下今泉705-1 小田急線・相鉄線・ＪＲ海老名駅から徒歩１5分）
注：場所がNANOBICではありません！ご注意ください。
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１５回ナノファブスクエア講習・実習会
『３次元加工構造観察 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１２月２０日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：森村 陽介 先生（株式会社キーエンス）
実習機器：レーザー顕微鏡（VK-8510）及び
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡（VE-8800）、株式会社キーエンス製
▶ 設備一覧のページ
実習内容：レーザー顕微鏡および3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡の
観察原理について講習し、実際にモデル試料とご持参の試料で
ナノ・マイクロ構造物の観察を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１３回ナノファブスクエア講習・実習会
『ウエハー切断 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１１月２２日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：松垣 仁 （(地独 )神奈川県立産業技術総合研究所 ）
実習機器：ダイシングソー（DAD522）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：ダイシングソーを使った基板切断の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習会も行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１２ 回ナノファブスクエア講習・実習会
『ウェットエッチング 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１１月１５日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：小出 晃 先生（一般財団法人 マイクロマシンセンター 産業交流部）
実習機器：ドラフト
▶ 設備一覧のページ
実習内容：液滴チップ等、マイクロ流路の試作で必要となるAu/Crスパッ タ膜の
電極パターニングをウェットエッチングで行う実践的な実習を体験いただけます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：KBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１１回ナノファブスクエア講習・実習会
『金属薄膜形成（２）講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１１月８日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：田口 良広 先生（慶應義塾大学 理工学部 准教授）
実習機器：４元マグネトロンサイドスパッタ装置 CFS-4EP-LL
芝浦メカトロニクス株式会社製、金、ニッケル、チタン、クロムなどの薄膜を
基板上に形成出来ます。マイクロ流路内への電極作製などが可能です。
▶ 設備一覧のページ
実習内容：パリレンを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習会も行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：KBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第１０回ナノファブスクエア講習・実習会
『パリレン薄膜形成 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１０月２５日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：三木 則尚 先生（慶應義塾大学 理工学部 教授）
実習機器：パリレン蒸着装置 PDS-2010
日本パリレン合同会社製。 生体適合性・絶縁性に優れたパリレンの薄膜を
多種多様な物質の表面に蒸着できます。
▶ 設備一覧のページ
実習内容：パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習会も行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第９回ナノファブスクエア講習・実習会
『金属薄膜形成（１） 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１０月４日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：茂木 克雄 先生（産業技術総合研究所 主任研究員）
実習機器：ECRイオンビームスパッター成膜装置 EIS-230W
エリオニクス株式会社製。金、アルミニウム、白金、チタン、クロムなどの
薄膜を石英・ガラス・シリコンウエハなどの基板上に形成できます。
マイクロ流路内への電極作製などが可能です。
▶ 設備一覧のページ
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習会も行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウムを
開催しました。
開催日：平成30年9月27日（木）１３:００～１８:００
会場：新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス Ｋ2ハウス（厚生棟）大会議室
（川崎市幸区新川崎7-1） ▶ 交通案内
参加費：無料
参加申込：お名前，ご所属，見学会希望有無をご記入の上、
4dai-symp@4daigaku.com へお申込み下さい。
開催案内パンフレット： ▶ シンポジウム開催案内
＜概要＞
「ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と新産業創出」をテーマに下記のとおり
開催いたしますのでお気軽に参加し交流ください。
〇特別講演１「MEMS製造技術からトリリオンセンサへ（仮題）」
神永 晉氏（SPPテクノロジーズ株式会社・エグゼクティブシニアアドバイザー）
〇特別講演２「リアルテックベンチャーが世界を変える」
山家 創氏（リアルテックファンド・グロースマネージャー）
〇ナノ・マイクロ研究拠点における共用設備活用事例
・「ナノサイズ試料の拡散係数測定に向けた光学式マイクロ熱流体センサの開発」
鎌田慎（慶應義塾大学理工学部田口研究室）
・「オンサイト蛍光偏光イムノアッセイ装置の開発」
重村幸治（Tianma Japan株式会社）
・ 「 キャンドル型ドライ脳波電極の開発とその応用 」
吉田有里（慶應義塾大学理工学部三木研究室）
・ 「 物理リザバー計算で実現する機械学習デバイス」
-日本IBMと東京大学による社会連携講座の紹介-
山根敏志（日本アイ・ビー・エム株式会社）
〇産学連携創出のための交流セッション
・テクノサロン交流セッション (ポスターセッション)
企業・大学研究室からポスター展示しますので交流下さい。
〇NANOBICクリーンルーム見学会
★2018年度 第８回ナノファブスクエア講習・実習会
『ガラスエッチング 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年９月２０日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：塚原 剛彦 先生（東京工業大学科学技術創成研究院先導原子力研究所 准教授）
実習機器：高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570
▶ 設備一覧のページ
実習内容：プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と、
実際に装置を使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第７回ナノファブスクエア講習・実習会
『マイクロモールディング 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年８月３０日（木）
９：４５～１６：３０（講習約３０分、実習約５時間）
講師：三宅 亮 氏（東京大学大学院工学系研究科 教授）
実習機器：レーザー直接描画装置 DWL 66fs
▶ 設備一覧のページ
実習内容：ミクロンオーダーの鋳型（モールド）を作り、転写技術によって
マイクロ流路を作製します。簡単な送液実験も行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★2018年度 第６回ナノファブスクエア講習・実習会
『レジスト塗布 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年８月８日（水）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：田口 良広 氏（慶應義塾大学理工学部 准教授）
実習機器：クラスタ型コータディベロッパ（SUSS MicroTech社製 GAMMA）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：感光性ﾚｼﾞｽﾄを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習を行います。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を
習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★2018年度 第５回ナノファブスクエア講習・実習会
『シリコン深掘りドライエッチング 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年７月２７日（金）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：関口 哲志 氏（早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 研究院教授）
実習機器：シリコン深掘りDRIE装置 MUC-21（住友精密工業製）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：シリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習を行います。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、
その技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：KBIC ２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★2018年度 第４回ナノファブスクエア講習・実習会
『加工表面観察 講習・実習会』開催しました。
日時：２０１８年７月１２日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：松垣 仁（(地独)神奈川県立産業技術総合研究所）
実習機器：①超高解像度表面形状計測装置 WYKO NT9100A
ブルカー・エイエックス社製。非接触計測。柔軟、透明材料等の測定に。
②触針式表面形状測定器 DEKTAK XT-A
ブルカー・エイエックス社製。接触計測。硬質、透明材料の測定に。
▶ 設備一覧のページ
実習内容：微細加工表面のﾌﾟﾛﾌｧｲﾙ測定の原理について講習を行い、
更に、モデル試料を用いた実習で測定技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★2018年度 第３回ナノファブスクエア講習・実習会
『精密フォトリソグラフィ 講習・実習会』開催しました。
日時：２０１８年６月２８日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：佐藤 友美 （(地独)神奈川県立産業技術総合研究所 工学博士）
実習機器：手動両面マスクアライナ装置
（SUSS MicroTec社製 SUSS MA6 BSA)
▶ 設備一覧のページ
実習内容：フォトレジストの性質、精密露光や現像のﾃｸﾆｯｸについて講習を行います。
さらにNANOBICのマスクアライナーを使って実習を行っていただくことで、
精密フォトリソグラフィを習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★2018年度 第２回ナノファブスクエア講習・実習会
『レーザー直接描画装置 講習・実習会』開催しました。
日時：２０１８年５月３１日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：山本 貴富喜 先生 （東京工業大学工学院 准教授）
実習機器：レーザー直接描画装置
（Heiderberg Instruments Mikrotechnik社製DWL66fs）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：フォトレジストへのリソグラフィの体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★2018年度 第1回ナノファブスクエア講習・実習会
『超解像度顕微鏡STED 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年５月１７日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：笠間 敏博 先生 （東京大学大学院工学系研究科 助教）
実習機器：超解像度レーザー顕微鏡
（ライカマイクロシステムズ社製STED-CW）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：通常の光学顕微鏡では見えない80nm領域に迫る
超解像イメージングの体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC） 集合場所：NANOBIC２F会議室
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★2018年度４大学コンソ安全講習会を開催しました。
＜開催日時,場所＞
日時：（第１回）平成30年4月18日（水）13:30～15:30
（第２回）平成30年5月 8日（火）13:30～15:30
場所：NANOBIC２階会議室
◎４大学コンソの装置を利用される学生は毎年受講が必要ですが、今回受講されなかった学生は
個別にKBIC211室で受講して下さい。
申込は下記４大学コンソ事務局までお願いします。
4dai-office@4daigaku.com
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム
を開催しました。
開催日：２０１８年３月２９日（木）１３：００～１８：００
会場：新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス Ｋ2ハウス（厚生棟）大会議室
（川崎市幸区新川崎7-1） ▶ アクセスのページ
参加費：無料
★ナノファブスクエア第１５回『3次元加工構造観察 講習・実習会』を開催しました。
ご案内：マイクロ流路の試作から表面形態の観察・評価までを行うプログラムにより、
目的に応じた受講ができる講習・実習会を開催し、多数の方々に参加をいただいて
きております。今回は、レーザー顕微鏡および3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡の
観察の原理について講習し、実際に装置を使ってナノ・マイクロ構造物の観察を
行います。
参加ご希望の方は添付申込書に記載の上、唐澤までメールでお申込み下さい。
日時：２０１８年３月１６日（金）
１３：００～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：奥村 直喜 先生 （株式会社キーエンス）
実習機器：レーザー顕微鏡（VK-8510）および3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡（VE-8800）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：レーザー顕微鏡および3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡の観察の原理について
講習します。また、実際に装置を使ってナノ・マイクロ構造物の観察の実習を
行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第１４回『デバイス接合 講習・実習会』を開催しました。
ご案内：マイクロ流路の試作から表面形態の観察・評価までを行うプログラムにより、
目的に応じた受講ができる講習・実習会を開催し、多数の方々に参加をいただいて
きております。今回は、実用化で重要となるデバイス接合技術の概要と原理に
ついて講習し、モデル流路の試作で、プラズマによるPDMS樹脂の接合実習までを
体験する『デバイス接合講習実習会』を元㈱日立製作所の河野顕臣氏を講師に
お招きし最近の進展も入れ下記の通り開催します。
参加ご希望の方は添付申込書に記載の上、唐澤までメールでお申込み下さい。
日時：２０１８年２月２３日（金）
１３：００～１６：００（講習１時間、実習２時間）
講師：河野 顕臣氏（元㈱日立製作所）
実習機器：プラズマ装置（ヤマト科学社製PR510）
レーザー直接描画装置（Heidelberg Instruments社製DWL66FS）他
▶ 設備一覧のページ
実習内容：プラズマなどを使ったデバイス材料の接合の原理について講習します。
また、実際にプラズマ装置などを使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：無料
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第１３回『ウエーハ切断 講習・実習会』を開催しました。
ご案内：マイクロ流路の試作から表面形態の観察・評価までを行うプログラムにより、
目的に応じた受講ができる講習・実習会を開催し、多数の方々に参加をいただいて
きております。今回は、ダイシングソーによりウエーハを切断する
『ウエーハ切断 講習・実習会』を㈱ディスコの清水芳昭氏を講師に
下記の通り開催します。
日時：２０１８年２月８日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：清水 芳昭 氏 （㈱ディスコ 国内営業部 テクニカルソリューショングループ）
実習機器：ダイシングソー DAD-522（ディスコ社製）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：ダイシングソーを使ったウエーハ切断の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
協力：㈱ディスコ 国内営業部 テクニカルソリューショングループ
★ナノファブスクエア第１２回『ウェットエッチング講習・実習会』を開催しました。
ご案内：マイクロ流路の試作から表面形態の観察・評価までを行うプログラムにより、
目的に応じた受講ができる講習・実習会を開催し、多数の方々に参加をいただいて
きております。今回は、ウェットエッチングの原理について講習し、
Au/Crスパッタ膜の電極形成に係るウエットエッチングを実習で体験する
『ウェットエッチング講習・実習会』をマイクロマシンセンター(MMC)の
小出晃氏を講師に下記の通り開催します。
日時：２０１８年２月２日（金）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：小出 晃 氏（一般財団法人マイクロマシンセンター 産業交流部）
実習内容：ウェットエッチングの原理について講習します。
また、実際にウェットエッチングの実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第１１回『パリレン薄膜形成 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１８年１月１１日（木）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：三木 則尚 氏（慶應義塾大学 理工学部 教授）
実習機器：パリレン蒸着装置 PDS-2010 （日本パリレン合同会社製）
▶ 設備一覧のページ
実習内容：パリレン蒸着装置を使ったパリレン薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶ アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第１０回『金属薄膜形成（2）講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年１１月２２日（水）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：田口 良広 氏 （慶應義塾大学 理工学部 准教授）
実習機器：４元マグネトロンサイドスパッタ装置 CFS-4EP-LL（芝浦メカトロニクス社製）
４種類のターゲットが搭載でき、金属膜他、透明導電膜、誘電体膜等を形成可能
（Au、Ag、Pt,、Cu、Si、Ti、Sn、Cr、Al、Ni、NiCr、ITO、AZO、SiO2、TiO2等）
▶設備一覧のページ
実習内容：マグネトロンスパッタを使った金属薄膜形成法の原理・デバイス作製
について講習します。また、実際に装置を使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第９回『金属薄膜形成（１）講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年１１月１０日（金）
１３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：茂木 克雄 氏（産業技術総合研究所 創薬分子プロファイリング研究センター
主任研究員）
実習機器：ECRイオンビームスパッター装置 EIS-230W（エリオニクス社製）
▶設備一覧のページ
実習内容：ECRプラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩１０分）
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度
費用：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第８回『ガラスエッチング講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年１０月１９日（木）
１３：３０～１６：３０ （講習１時間、実習２時間）
講師：塚原 剛彦 氏（東京工業大学 科学技術創成研究院先導原子力研究所 准教授）
実習機器：高密度プラズマエッチング装置 NLD-570 （アルバック 社製）
▶設備一覧のページ
実習内容：プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、
原理の講習と、実際に装置を使った実習を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度 ⇒ «定員に達しましたので募集を終了させて頂きます»
費用：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第７回『マイクロモールディング実習会』を開催しました。
日時：２０１７年１０月１３日（金）
９：４５～１６：３０（試作実習４時間、実証観察1時間）
実習機器：レーザー直接描画装置 DWL66fs
（Heidelberg Instruments Mikrotechnik社製）▶設備一覧のページ
実習内容：ミクロンオーダーの鋳型を作り、それを元にPDMSでマイクロ流路を作製、
蛍光で流路が光る実証試験を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度
参加費：無料
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第６回『シリコン深掘りドライエッチング講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年９月１５日（金）（←14(木)を訂正）
１３：３０～１６：３０ （講習１時間、実習２時間）
講師：早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構 研究院教授
関口 哲志氏
実習機器：シリコン深掘りＤＲＩＥ装置
（住友精密工業株式会社製 ＭＵＣ-２１） ▶設備一覧のページ
実習内容：シリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習を行います。
更にNANOBICの装置を使ってモデルチップの実習を行っていただくことで、
技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度 参加費：１万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第５回『加工表面観察 講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年８月２４日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師： ブルカー・エイエックスエス㈱ ブルカーナノ表面計測事業部 寺山剛司氏
実習機器：ブルカー・エイエックスエス社製
超解像度表面形状計測装置（WYKO NT9100A）*
触針式表面形状測定器 （ DEKTAK XT-A）*
実習内容：微細加工表面のプロファイル測定の原理について講習を行います。
さらに、実機を用いた実習で測定技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の
機器一覧及びアクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度
参加費：無料
主催：(地独)神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC)
川崎市
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
協力：ブルカー・エイエックスエス㈱ブルカーナノ表面計測事業部
★「４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム／
(併催)MEMS集中講義in川崎」を開催しました。
特別講演及びナノ・マイクロファブリケーションに関する先端活用事例を紹介する
シンポジウムです。
今回は、東北大学，MEMSパークコンソーシアム主催のMEMS集中講義と併せて開催しました。
場所：川崎市産業振興会館 神奈川県川崎市幸区堀川町66番地20
（案内図：http://www.kawasaki-net.ne.jp/kaikan/access.html ）
主催：4大学ナノ・マイクロファブリケ―ションコンソーシアム
日程・プログラム：
●8月2日（水）午後 『4大学コンソーシアム・シンポジウム』
・特別講演
１．「フォトンサイエンスによるイノベーションの創出－高精細3Dプリンタ，
臓器透明化技術－」
講師 東京大学 湯本 潤司氏
２．「LiDAR技術とその応用」
講師 株式会社日立LGデータストレージ 新谷 俊通氏
３．「コンソーシアム活動状況」 東京大学 三宅 亮
・NANOBIC*見学会 (希望者) 見学会場(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり地区
へ移動
*場所は「アクセス」のページをご覧ください。
●(併催)7月31日（月） ～ 8月2日（水） 『MEMS集中講義 in 川崎』
★ナノファブスクエア第４回『手動両面マスクアライナ装置講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年６月２３日（金） １４：００～１７：００（講習１時間、実習２時間）
講師：佐藤 友美（（地独）神奈川県立産業総合研究所、東京大学大学院工学系研究科）
実習機器：手動両面マスクアライナ装置
(SUSS MicroTech社製 SUSS MA6 BSA) *
実習内容：フォトレジストの性質、精密露光や現像のテクニックについて講習を行います。
さらにNANOBICのマスクアライナーを使って実習を行っていただくことで、
精密フォトリソグラフィを習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★ナノファブスクエア第３回『クラスター型コータディベロッパ・スピンコータ装置講習・実習会』
を開催しました。
日時：２０１７年６月９日（金） １４：００～１７：００（講習１時間、実習２時間）
講師：田口良広（慶應義塾大学 准教授）
実習機器：クラスター型コーターディベロッパ・スピンコータ
(SUSS MicroTech社製GAMMA) *
実習内容：マイクロ加工のための、レジスト膜全自動バッチ塗布の体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★ナノファブスクエア第２回『レーザー直接描画装置講習・実習会』を開催しました。
日時：２０１７年５月１２日（金） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：山本貴富喜（東京工業大学工学院 准教授）
実習機器：レーザー直接描画装置 (Heiderberg Instruments Mikrotechnik社製DWL66fs) *
実習内容：マスクレスマイクロフォトリソグラフィの体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
参加者：7名でした。
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム シンポジウムを開催しました。
テーマ：『ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と科学技術人材育成』
日時： 2017年3月13日(月)１３:００～１８:００
場 所：新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス 大会議室
〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7-7
（地図： https://goo.gl/maps/ySmqKdFwhVn）
参加費：無 料
★COMSOL Multiphysics セミナーが開催されました
日時：2017年4月27日（木）AM10:00-12:00 (受付9:30開始)
場所：ＫＢＩＣ新館 NANOBIC 2F 第１会議室
神奈川県川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり地区
アクセス：▶地図
費用：無料
主催：4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
実施：計測エンジニアリングシステム株式会社
～～～セミナー内容紹介～～～
COMSOL Multiphysics®は、スウェーデン・COMSOL ABにより開発された
マルチフィジックス解析を前提として設計されている有限要素法(FEM)
ベースの汎用物理シミュレーションソフトウェアです。
今回、計測エンジニアリングシステム株式会社 第1技術部 米 大海
(元東京農工大学 夏研究室 助教)が講師を務めます。
（COMSOL, Inc. ボストンオフィスでCOMSOLの開発に従事された
水山洋右様に御講演をして頂く予定でしたが、ご都合により変更させて頂きます）
セミナー内容：
1. COMSOL Multiphysicsのご紹介
・COMSOL Multiphysics オーバービュー
・最新ver.5.3 ハイライト
2. COMSOL 光学系モジュール紹介
・波動光学モジュール
・光線光学モジュール
3．Q&A
・技術質問および名刺交換
★MEMS Engineer Forum 2017が開催されました
日時：2017年4月26日（水）～ 27日（木）
場所：両国KFCホール
ＨＰ： http://www.m-e-f.info/
（参考）参加団体：東京大学 三宅研究室
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
【特別講演テーマ】
脳構造を模したデバイスの現状とコグニティブコンピューティングに
向けた挑戦
日本アイ・ビー・エム 東京基礎研究所 サイエンス＆テクノロジー部長
新川崎事業所長 山道 新太郎 様
★「超解像度顕微鏡STED講習・実習会」を開催しました。
日時：２０１７年３月９日（木）１３：３０～１６：３０
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC)
講師：笠間敏博 （東京大学大学院工学系研究科 助教）
実習内容：レーザーの光で通常の光学顕微鏡では見えない80nm領域に迫る
超解像イメージングの体験実習
（多重免疫染色したHeLa細胞のSTED観察）
定員：先着5名程度 ⇒ 10名参加されました。 ～～参加者の声を追って掲載予定です。～～
参加費：無料
★ナノテク展に出店しました
名称：nano tech 2017 第16回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時：2017年2月15日（水）～ 17日（金）10：00-17：00
会場：東京ビッグサイト東4・5・6ホール&会議棟
ＨＰ： http://www.nanotechexpo.jp/main/
★装置実習会を開催しました。
装置 ： ４元マグネトロンスパッタ装置
日時 ： 2016年12月19日（月）13:00 ～ 17:00
会場 ： NANOBICクリーンルーム及びKBIC小会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
参加費 ： 無料
人数 ：5名（先着順）
★装置講習会を開催しました。
装置 ： コータディベロッパー
講師 ： ズース・マイクロテック（株）様
日時 ： 2016年11月16日（水）13:00 ～ 17:00
会場 ： ４大学コンソCR（クリーンルーム）
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
参加費 ： 無料
人数 ： 15名（先着順）
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム シンポジウムを開催しました。
日時 ： 2016年9月28日（水）13:00 ～ 17:40
会場：K2タウンキャンパス大会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
★2016年度４大学コンソ安全講習会を開催しました。
（学生は毎年受講をお願いしております）
日時：平成28年5月10日（火）
場所：NANOBIC２階会議室
参加者数：98名
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・
シンポジウムを開催しました。
テーマ：ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と先端活用事例
会場：新川崎・創造のもり地区
開催日：３月２９日（火）13:00～16:40
参加費：無料
★第15回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に出展しました。
日時：2016年1月27日（水） - 1月29日（金）10：00-17：00
場所：東京ビッグサイト東4・5・6ホール 会議棟 小間番５Ｕ－０１
https://ics-event.smktg.jp/public/application/add/246?lang=ja
セミナーA会場で主催者セミナーを行いました。
１月２７日（初日）１５：０５－１５：５０
★ナノ・マイクロ ビジネス展にポスター展示しました。
名称 ：ナノ・マイクロ ビジネス展／ROBOTECH 次世代ロボット
製造技術展
場所 ：パシフィコ横浜 展示ホール
日時 ：２０１５年４月２２日（水）～２４日（金）
10:00 ～ 17:00
15,000人もの方が来場したビッグイベントで、
LEDパネルを2枚掲示し、多数のパンフレットを配布しました。
★下記シンポジウムのポスターセッションに参加しました。
日時：２０１５年３月４日（水）13:00 ～ 19:00
場所：東京大学生産技術研究所（駒場） コンベンションホール
テーマ：平成26年度微細加工ナノプラットフォームコンソー
シアム・シンポジウム
NANOBICでの４大学コンソーシアムの取組内容をポスター掲示
しました。
約150人の参加があり、専門性の高い講演が多く、盛況でした。
★nano tech 2015 に出展しました。
名称：第14回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時：2015年1月28日（水） - 1月30日（金）10：00-17：00
場所：東京ビッグサイト東4・5・6ホール＆会議棟
３日目の金曜日は雪交じりの雨でしたが、
３日間で47,649名の入場がありました。
★機器利用実習会を実施しました。
名称：マイクロ流路試作実習会
目的：マスクレスレーザーリソグラフィによる迅速なマイクロ流路の形成を実習
日時：2015年1月14日（水）10:00 ～ 16:00
場所：NANOBIC クリーンルーム
実習装置：レーザー直接描画装置
講師：東京大学 三宅研究室
参加者数：６名
大変好評でした。
★2014年9月16日(火）４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・
シンポジウムを開催しました。
会場： 新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス大会議場
多数のご参加有難う御座いました。
★2013年11月20日（水）13時より、新川崎・創造のもり（Ｋ２キャンパス大会議室）に
おいて、４大学コンソーシアム・シンポジウム「実例に見る4大学コンソにおける
各設備の活用事例」を開催いたしました。
ご参加いただいた皆様、講演者ならびに関係者の方々にお礼を申し
上げます。当日の様子も含めて、詳細は、 こちら をご覧ください。
