４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムは、慶應義塾大学、早稲田大学、
東京工業大学、東京大学が連携・協力して「新川崎・創造のもり」に設立した、新しい形の
研究教育拠点です。
クリーンルームには３５種類以上の精密加工・観察装置がそろっており、一般企業の研究・
試作にも御利用いただけます。
★ナノファブスクエア第７回『マイクロモールディング実習会』開催案内
日時：２０１７年１０月１３日（金）
９：４５～１６：３０（試作実習４時間、実証観察1時間）
講師：松垣 仁氏 （(地独)神奈川県立産業技術総合研究所）
実習機器：レーザー直接描画装置 DWL66fs
（Heidelberg Instruments Mikrotechnik社製）▶設備一覧のページ
実習内容：ミクロンオーダーの鋳型を作り、それを元にPDMSでマイクロ流路を作製、
蛍光で流路が光る実証試験を行います。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度
参加費：無料
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
▶ 年間スケジュール
実習会参加申込書： ▶ 申込書
申込・問合せ先：KISTEC 唐澤 karasawa@newkast.or.jp
TEL 080-6560-3061
★ナノファブスクエア第６回『シリコン深掘りドライエッチング講習・実習会』
終了しました。
日時：２０１７年９月１５日（金）（←14(木)を訂正）
１３：３０～１６：３０ （講習１時間、実習２時間）
講師：早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構 研究院教授
関口 哲志氏
実習機器：シリコン深掘りＤＲＩＥ装置
（住友精密工業株式会社製 ＭＵＣ-２１） ▶設備一覧のページ
実習内容：シリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習を行います。
更にNANOBICの装置を使ってモデルチップの実習を行っていただくことで、
技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
▶アクセスのページ
定員：先着５名程度 参加費：１万円（実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
★ナノファブスクエア第５回『加工表面観察 講習・実習会』
終了しました。
日時：２０１７年８月２４日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師： ブルカー・エイエックスエス㈱ ブルカーナノ表面計測事業部 寺山剛司氏
実習機器：ブルカー・エイエックスエス社製
超解像度表面形状計測装置（WYKO NT9100A）*
触針式表面形状測定器 （ DEKTAK XT-A）*
実習内容：微細加工表面のプロファイル測定の原理について講習を行います。
さらに、実機を用いた実習で測定技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の
機器一覧及びアクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度
参加費：無料
主催：(地独)神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC)
川崎市
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
協力：ブルカー・エイエックスエス㈱ブルカーナノ表面計測事業部
★「４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム／
(併催)MEMS集中講義in川崎」終了しました。
特別講演及びナノ・マイクロファブリケーションに関する先端活用事例を紹介する
シンポジウムを下記の通りに開催いたします。
今回は、東北大学，MEMSパークコンソーシアム主催のMEMS集中講義と併せて開催します。
場所：川崎市産業振興会館 神奈川県川崎市幸区堀川町66番地20
（案内図：http://www.kawasaki-net.ne.jp/kaikan/access.html ）
主催：4大学ナノ・マイクロファブリケ―ションコンソーシアム
日程・プログラム：
●8月2日（水）午後 『4大学コンソーシアム・シンポジウム』
・特別講演
１．「フォトンサイエンスによるイノベーションの創出－高精細3Dプリンタ，
臓器透明化技術－」
講師 東京大学 湯本 潤司氏
２．「LiDAR技術とその応用」
講師 株式会社日立LGデータストレージ 新谷 俊通氏
３．「コンソーシアム活動状況」 東京大学 三宅 亮
・NANOBIC*見学会 (希望者) 見学会場(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり地区
へ移動
*場所は「アクセス」のページをご覧ください。
●(併催)7月31日（月） ～ 8月2日（水） 『MEMS集中講義 in 川崎』
★ナノファブスクエア第４回『手動両面マスクアライナ装置講習・実習会』
終了しました。
日時：２０１７年６月２３日（金） １４：００～１７：００（講習１時間、実習２時間）
講師：佐藤 友美（（地独）神奈川県立産業総合研究所、東京大学大学院工学系研究科）
実習機器：手動両面マスクアライナ装置
(SUSS MicroTech社製 SUSS MA6 BSA) *
実習内容：フォトレジストの性質、精密露光や現像のテクニックについて講習を行います。
さらにNANOBICのマスクアライナーを使って実習を行っていただくことで、
精密フォトリソグラフィを習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★ナノファブスクエア第３回『クラスター型コータディベロッパ・スピンコータ装置講習・実習会』
終了しました。
日時：２０１７年６月９日（金） １４：００～１７：００（講習１時間、実習２時間）
講師：田口良広（慶應義塾大学 准教授）
実習機器：クラスター型コーターディベロッパ・スピンコータ
(SUSS MicroTech社製GAMMA) *
実習内容：マイクロ加工のための、レジスト膜全自動バッチ塗布の体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★ナノファブスクエア第２回『レーザー直接描画装置講習・実習会』終了しました
日時：２０１７年５月１２日（金） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：山本貴富喜（東京工業大学工学院 准教授）
実習機器：レーザー直接描画装置 (Heiderberg Instruments Mikrotechnik社製DWL66fs) *
実習内容：マスクレスマイクロフォトリソグラフィの体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
参加者：7名でした。
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム シンポジウムを開催しました。
テーマ：『ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と科学技術人材育成』
日時： 2017年3月13日(月)１３:００～１８:００
場 所：新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス 大会議室
〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7-7
（地図： https://goo.gl/maps/ySmqKdFwhVn）
参加費：無 料
★COMSOL Multiphysics セミナーが開催されました
日時：2017年4月27日（木）AM10:00-12:00 (受付9:30開始)
場所：ＫＢＩＣ新館 NANOBIC 2F 第１会議室
神奈川県川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり地区
アクセス：▶地図
費用：無料
主催：4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
実施：計測エンジニアリングシステム株式会社
～～～セミナー内容紹介～～～
COMSOL Multiphysics®は、スウェーデン・COMSOL ABにより開発された
マルチフィジックス解析を前提として設計されている有限要素法(FEM)
ベースの汎用物理シミュレーションソフトウェアです。
今回、計測エンジニアリングシステム株式会社 第1技術部 米 大海
(元東京農工大学 夏研究室 助教)が講師を務めます。
（COMSOL, Inc. ボストンオフィスでCOMSOLの開発に従事された
水山洋右様に御講演をして頂く予定でしたが、ご都合により変更させて頂きます）
セミナー内容：
1. COMSOL Multiphysicsのご紹介
・COMSOL Multiphysics オーバービュー
・最新ver.5.3 ハイライト
2. COMSOL 光学系モジュール紹介
・波動光学モジュール
・光線光学モジュール
3．Q&A
・技術質問および名刺交換
★MEMS Engineer Forum 2017が開催されました
日時：2017年4月26日（水）～ 27日（木）
場所：両国KFCホール
ＨＰ： http://www.m-e-f.info/
（参考）参加団体：東京大学 三宅研究室
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
【特別講演テーマ】
脳構造を模したデバイスの現状とコグニティブコンピューティングに
向けた挑戦
日本アイ・ビー・エム 東京基礎研究所 サイエンス＆テクノロジー部長
新川崎事業所長 山道 新太郎 様
★「超解像度顕微鏡STED講習・実習会」を開催しました。
日時：２０１７年３月９日（木）１３：３０～１６：３０
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC)
講師：笠間敏博 （東京大学大学院工学系研究科 助教）
実習内容：レーザーの光で通常の光学顕微鏡では見えない80nm領域に迫る
超解像イメージングの体験実習
（多重免疫染色したHeLa細胞のSTED観察）
定員：先着5名程度 ⇒ 10名参加されました。 ～～参加者の声を追って掲載予定です。～～
参加費：無料
★ナノテク展に出店しました
名称：nano tech 2017 第16回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時：2017年2月15日（水）～ 17日（金）10：00-17：00
会場：東京ビッグサイト東4・5・6ホール&会議棟
ＨＰ： http://www.nanotechexpo.jp/main/
★装置実習会を開催しました。
装置 ： ４元マグネトロンスパッタ装置
日時 ： 2016年12月19日（月）13:00 ～ 17:00
会場 ： NANOBICクリーンルーム及びKBIC小会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
参加費 ： 無料
人数 ：5名（先着順）
案内パンプ： ▶ ４元マグネトロンスパッタ装置実習会案内
★装置講習会を開催しました。
装置 ： コータディベロッパー
講師 ： ズース・マイクロテック（株）様
日時 ： 2016年11月16日（水）13:00 ～ 17:00
会場 ： ４大学コンソCR（クリーンルーム）
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
参加費 ： 無料
人数 ： 15名（先着順）
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム シンポジウムを開催しました。
日時 ： 2016年9月28日（水）13:00 ～ 17:40
会場：K2タウンキャンパス大会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
★2016年度４大学コンソ安全講習会を開催しました。
（学生は毎年受講をお願いしております）
日時：平成28年5月10日（火）
場所：NANOBIC２階会議室
参加者数：98名
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・
シンポジウムを開催しました。
テーマ：ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と先端活用事例
会場：新川崎・創造のもり地区
開催日：３月２９日（火）13:00～16:40
参加費：無料
★第15回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に出展しました。
日時：2016年1月27日（水） - 1月29日（金）10：00-17：00
場所：東京ビッグサイト東4・5・6ホール 会議棟 小間番５Ｕ－０１
https://ics-event.smktg.jp/public/application/add/246?lang=ja
セミナーA会場で主催者セミナーを行いました。
１月２７日（初日）１５：０５－１５：５０
★ナノ・マイクロ ビジネス展にポスター展示しました。
名称 ：ナノ・マイクロ ビジネス展／ROBOTECH 次世代ロボット
製造技術展
場所 ：パシフィコ横浜 展示ホール
日時 ：２０１５年４月２２日（水）～２４日（金）
10:00 ～ 17:00
15,000人もの方が来場したビッグイベントで、
LEDパネルを2枚掲示し、多数のパンフレットを配布しました。
★下記シンポジウムのポスターセッションに参加しました。
日時：２０１５年３月４日（水）13:00 ～ 19:00
場所：東京大学生産技術研究所（駒場） コンベンションホール
テーマ：平成26年度微細加工ナノプラットフォームコンソー
シアム・シンポジウム
NANOBICでの４大学コンソーシアムの取組内容をポスター掲示
しました。
約150人の参加があり、専門性の高い講演が多く、盛況でした。
★nano tech 2015 に出展しました。
名称：第14回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時：2015年1月28日（水） - 1月30日（金）10：00-17：00
場所：東京ビッグサイト東4・5・6ホール＆会議棟
３日目の金曜日は雪交じりの雨でしたが、
３日間で47,649名の入場がありました。
★機器利用実習会を実施しました。
名称：マイクロ流路試作実習会
目的：マスクレスレーザーリソグラフィによる迅速なマイクロ流路の形成を実習
日時：2015年1月14日（水）10:00 ～ 16:00
場所：NANOBIC クリーンルーム
実習装置：レーザー直接描画装置
講師：東京大学 三宅研究室
参加者数：６名
大変好評でした。
★2014年9月16日(火）４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・
シンポジウムを開催しました。
会場： 新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス大会議場
多数のご参加有難う御座いました。
★2013年11月20日（水）13時より、新川崎・創造のもり（Ｋ２キャンパス大会議室）に
おいて、４大学コンソーシアム・シンポジウム「実例に見る4大学コンソにおける
各設備の活用事例」を開催いたしました。
ご参加いただいた皆様、講演者ならびに関係者の方々にお礼を申し
上げます。当日の様子も含めて、詳細は、 こちら をご覧ください。
